因為羅茨真空泵內部一旦產生污垢就會嚴重影響設備運行，因此真空泵的清污操作時設備使用中必不可少的一項操作，但是要想準確的進行清污，就需要了解設備產生污垢的原因，才能夠采取針對性的解決措施。

　　1、溶解度降低：

　　負溶解度溫度系數的CA-SO4、CASIO3、CACO3等鹽類，隨著循環水水溫的升高而降低溶解度因此析出沉淀形成結垢。

　　2、相互反應：

　　在真空泵的運行過程中，循環水中原本溶解度較大的鹽類，和其它鹽類發生物理化合反應形成難溶物質而形成水垢。

　　3、蒸發和濃縮：

　　由于循環水不斷的做功發熱，產生了不可避免地蒸發和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增加大，達到飽和時析出沉淀形成了水垢。

　　所以當發現羅茨真空泵內部出現污垢時，一定要及時進行處理，從而避免污垢對羅茨泵產生不良影響。同時不管是在啟動設備，開始對設備進行保養工作時，都要多多做好這一方面的檢查、預防工作，避免污垢堆積過多而不知。